当泵的进口压力小于环境温度下的液体的饱和蒸气压时，液体中有大量蒸汽逸出，并与气体混合形成许多小气泡。当气体到达高压区时，蒸汽凝结，气泡破裂，气泡的消失导致产生局部真空，液体质点快速冲向气泡中心，质点相互碰撞，产生很高的局部压力。如果气泡在金属表面如叶片上破裂凝结，则会以较大的力打击叶片金属表面，使其遭到破坏，并产生震动，这种现象称为“汽蚀现象”。所以一般需要给泵做好防气蚀保护看，对于罗茨真空机组来说亦是如此。
汽蚀是一种客观存在的现像，在罗茨真空机组工作时，真空度达到-0.093MPa及以上时，真空机组泵腔内的水很容易达到饱合蒸汽压，此时会产生很多气泡。这些气泡在排气端因压力增加会快速破裂，此时原气泡周围的水会迅速的填充原气泡的空间，从而对真空机组的叶轮及圆盘造成很大的冲击，并同时伴随着啪啪的刺耳声。汽蚀刚才始对真空机组叶轮及圆盘，主要是叶轮造成点状的损坏，破坏金属表面的保护层，随着气蚀时间的增加会在叶轮表面形成蜂窝状的小坑，并且小坑的深度会慢慢增加，直到叶轮叶片因气蚀及液体阻力被折断。汽蚀对机组来说有很大的威胁，在实际应用中，很多真空机组性能降低甚至损坏都是因为气蚀的原因造成的。
所以如果罗茨真空机组没有防汽蚀保护措施，那么就会很容易出现被腐蚀现象，从而严重影响机组的正常使用效果和使用寿命，也会增加机组的维修成本。
